Ludovic de Poucques
Mots clés
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Pulvérisation cathodique
Fluorescence induite par laser
Spectrométrie de masse
Spectroscopie d'émission
Magnétrons
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Pulvérisation Magnétron
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Fonction de distribution en vitesse
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Diagnostics plasma
Fluorescence induite par diode laser
Caractérisation des couches minces (MEB, DRX, microsonde de Castaing)
Couches minces métalliques
Surfaces (technologie) -- Analyse
Plasma micro-onde