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des thèses françaises
Marcin Zielinski
IdRefMots clés
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Épitaxie
SiC
Silicium -- Substrats
Micro-Raman
Photoluminescence
Sims
Dopage
Carbure de silicium
Spectroscopie Raman
Épitaxie CVD
4H-SiC
Incorporation N et Al
Analyse SIMS et C-V
Polarité du matériau
Compétition de site
Couverture de surface
Paramètre de maille
Cartographie de l’espace réciproque (RSM)
Mesure LPTL
Porteurs libres