Jean-Pierre Manaud
Mots clés
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Pulvérisation cathodique
Couches minces
Barrière de diffusion
Composites
Diamant -- Couches minces
PVD réactive
Revêtements multicouches
Couche de germination
CVD micro-ondes
Diamant nanocristallin (NCD)
Interfaces
Dépôt chimique en phase vapeur
Revêtement de surface
Chimie des surfaces
Matériaux nanostructurés
Dépôt de couche mince
Ta
TaNx
Pulvérisation cathodique magnétron
Pulvérisation réactive