Jean Podlecki
Mots clés
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Microcapteurs
Capteurs optiques
Photo-thermo-acoustique
Membrane de silicium
Résonance
Efficacité
Facteur de qualité
Durée de vie de porteurs
Semiconducteurs
Oxyde de zinc
Pulvérisation cathodique magnétron
Capteur optique de gaz
Tantalate de lithium
Piézoélectricité
Pyroélectricité
Analyse calorimétrique différentielle
Mems
Couches minces
Systèmes microélectromécaniques
Semiconducteurs à l'arséniure de gallium