Elisabeth Blanquet
Mots clés
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Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeur
Dépôt en phase vapeur par organométalliques
Zircone
Composites à matrice céramique
Épitaxie
Microélectronique
Carbure de silicium
Epitaxie
MOCVD
Contraintes résiduelles
Thermodynamique
Nitrure d'aluminium
Couche mince
Atomic Layer Deposition
Cuivre
Semiconducteurs
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Revêtement
Siliciures