Elisabeth Blanquet
Mots clés
FR |
EN
Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeur
Dépôt en phase vapeur par organométalliques
Zircone
Composites à matrice céramique
Ald
Épitaxie
Microélectronique
Carbure de silicium
Atomic Layer Deposition
Revêtement
Epitaxie
MOCVD
Contraintes résiduelles
Thermodynamique
Nitrure d'aluminium
Couche mince
Cuivre
Semiconducteurs
Dépôt de couche atomique