Michaël Tatoulian
Mots clés
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Plasma
Microfluidique
Micro-fabrication
Oxydation
Adhésion (physique)
Polymérisation sous plasma
Couches minces
Silicium -- Couches minces
Microréacteur
Catalyse
Microréacteurs chimiques
Synthèse en flux continu
Technique de la production
Plasma à pression atmosphérique
Intégration hétérogène
Adhésion/Adhérence
Traitement plasma
Assemblage
Microsystèmes
Soudures