Christelle Tixier
Mots clés
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Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Pression atmosphérique
Dépôt chimique en phase vapeur
Couches minces
PECVD
Composites à matrice céramique
Infiltration chimique en phase vapeur
Technique des plasmas
Micro-ondes
Oxydation
Dioxyde de titane
Carbure de silicium
Transfert de chaleur
Spectroscopie d’émission optique
Jets de plasma
Silice
Oxyde de titane
Projection au plasma
Nitrure de bore
Aluminium