Christelle Tixier
Mots clés
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Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Couches minces
Pression atmosphérique
Dépôt chimique en phase vapeur
PECVD
Oxydation
Aluminium
Composites à matrice céramique
Infiltration chimique en phase vapeur
Technique des plasmas
Micro-ondes
Dioxyde de titane
Propriétés physico-chimiques
Carbure de silicium
Pulvérisation magnétron
Magnétrons
Pulvérisation cathodique
Plasmas froids
Plasmas microondes
Transfert de chaleur