Gérard Henrion
Mots clés
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Aluminium
Décharges électriques
Pression atmosphérique
Plasmas microondes
Technique des plasmas
Technique de la production
Plasma
Titane
Nitruration
Modèle collisionnel-radiatif
Traitements de surface
Films minces
Oxydation par plasma électrolytique
Oxydation électrochimique
Couches minces
Dispositifs à plasma
Plasmas (gaz ionisés)
Plasmas
Hexamethyldisiloxane
PECVD