Guillaume Jourdan
Mots clés
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Systèmes microélectromécaniques
Mems
Piézorésistivité
Accéléromètres
Résonateur
Nems
Photonique
Capteurs (technologie)
Optomécanique
Microscope de force de Casimir
Microsystème
Accéléromètre
Gyromètre
Couplage électromécanique
Amortissement
Microtechniques
Jauges de contrainte
Capteur de pression
Nanofil
Piezorésistance