Mohammed Belmahi
Mots clés
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Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
ECR
Projection au plasma
Plasma
Fonctionnalisation des surfaces (chimie)
Oxygène
Plasmas (gaz ionisés)
TaOxNy
Pulvérisation réactive
Empoisonnement de cible
Analyse plasma
Structures
Ellipsométrie
Nanoparticules
SiCN
Procédés plasma micro-Ondes
CVD
Organosiliciés
Plasmas microondes