Vincent Rouessac
Mots clés
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Pecvd
Membranes (technologie)
Hydrogène
Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Plasma
Matériaux poreux
Diélectriques
Microélectronique
Membranes
Membrane
Surface
Couches minces de SiOCH
Membrane de séparation gazeuse
Surface superhydrophobe
Annihilation de positron
Structure des pores
Séparation par membranes
Dispositifs à couches minces
Surfaces hydrophobes