Hubert Caquineau
IdRefMots clés
FR
Silane
Couches minces
Plasmas (gaz ionisés)
Plasma
Post-décharge
Lit fluidisé
Traitement
Dépôt
Fluidisation
Poudres métalliques
Traitements de surface
Polymères
Spectroscopie d'absorption
Plasmas, Électrodynamique des
Réacteurs électrochimiques
Nitrure de silicium
Dépôt de couches minces
Modélisation d'écoulement réactif
Plasma à pression atmosphérique
Décharges contrôlées par barrière diélectrique