Jean-François Damlencourt
IdRefMots clés
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Microélectronique
Technologie CMOS
Fabrication de nanofils de Si et SiGe
Oxydation et enrichissement en Ge
Microelectronics
CMOS technology
Si and SiGe nanowire fabrication
Oxidation
Ge enrichment
Micro-fabrication
Nanofils
Nanosilicium
MOS (électronique)
Germanium
In-Situ liquide
Coloration négative
Dls
Microscopie Electronique en Transmission
Cryogénie
Matériaux -- Effets des basses températures