Gilles Cartry
Mots clés
FR |
EN
Gravure par plasma
Plasma
Plasmas (gaz ionisés)
Ions négatifs
Fusion nucléaire contrôlée
Tungstène
Gravure
Plasmas froids
Technique des plasmas
Tokamaks
Spectrométrie de masse
Dynamique moléculaire
Ions -- Implantation
Fusées à effet Hall
Anions
Silicium -- Substrats
Microélectronique
Spectromètre de masse
La fonction de distribution des ions négatifs
GraphiteHOPG