Nathalie Prud'homme
IdRefMots clés
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Contrainte résiduelle
Zircone
Zircone -- Couches minces
Oxydation
Contraintes résiduelles
MOCVD
Couches minces
Gradient de contrainte
Structure cristalline/phase
Texture
GIXRD
Mécanismes de croissance
Phase transformation
Phase stabilization
Transitions de phases
Texture (cristallographie)
Dépôt en phase vapeur par organométalliques
Couche d’oxyde
Cinétique
Diffusion atomique