Éric Le Bourhis
IdRefMots clés
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Couches minces
Nanoindentation
Indentation des matériaux
Élasticité
Rayons X -- Diffraction
Déformations (mécanique)
Microstructure (physique)
Matériaux -- Fissuration
Silice
Matériaux -- Propriétés mécaniques
Silicium -- Substrats
Couches minces métalliques
Sol-gel, Procédé
Rayonnement synchrotron
Film mince
Résines époxydes
Dislocations dans les semiconducteurs
Revêtements
Composites
Traitement thermique