Marc Faucher
Mots clés
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Systèmes microélectromécaniques
Contraintes résiduelles
Nanotechnologie
Microcapteurs
Cristaux photoniques
Mems
Dispositifs piézoélectriques
Transistors à effet de champ à dopage modulé
Résonateurs
Nitrure de gallium
PZT épitaxié à température ambiante
MEMS piézoélectrique actionnés
MEMS épitaxiés
MEMS résonnant
Poutres à double serrage
Contrainte locale
Titanozirconate de plomb
Couches minces piézoélectriques
Transducteurs piézoélectriques
Hétéroépitaxie