Gwenaël Le Rhun
Mots clés
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Couches minces
Systèmes microélectromécaniques
Couches minces piézoélectriques
Titanozirconate de plomb
Couche mince
Ferroélectricité
Pulvérisation cathodique
Matériaux -- Fatigue
Interfaces (sciences physiques)
Microélectronique
Microsystème électromécanique (MEMS ou MST)
Gadolinium oxyde
Hétéroépitaxie
Matériaux piézoélectriques
Epitaxie par jets moléculaires (EJM)
Procédé sol-gel
Silicium
Épitaxie par faisceaux moléculaires
Sol-gel, Procédé
Transparent