Martin Kogelschatz
Mots clés
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Gravure par plasma
Caractérisation électrique
Microélectronique
Microscopie à force atomique
Memristors
Gravure plasma
Plasma
Radiofréquences
Oxygène
Plasmas (gaz ionisés)
Fiabilité
Microscopie à force atomique en mode conduction
TDDB
Métaloxyde semi conducteur
Oxyde bicouche
Filament
Résistance différentielle négative
Nanoélectronique
Ultravide
Pulse