Frédéric Mazen
Mots clés
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Ions -- Implantation
Implantation ionique
Silicium
Rupture, Mécanique de la
Technologie silicium sur isolant
Silicium -- Couches minces
Hydrogène
Microfissures
Implantation
SOI
Semiconducteurs -- Dopage
MOS (électronique)
Smart Cut
Silicium sur isolant
Nanostructures
Matériaux nanostructurés
Dépôt chimique en phase vapeur
Dynamique de la rupture
Fissuration
Rupture fragile