Matthieu Chatras
IdRefMots clés
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Systèmes microélectromécaniques
MEMS
Niobate de lithium
Couches minces
Piezoelectrique
Oxyde de Zinc ZnO
Nitrure d'aluminium AlN
Ondes acoustiques
Dispositifs piézoélectriques
Résonateurs électriques
Ondes sonores
Filtre accordable
Antenne accordable
Systèmes de télécommunications
Antennes hyperfréquences
Coefficient de Température de la Fréquence (CTF)
Stoechiométrie
Monocristaux de LT et LN
Facteur de couplage electromécanique (K2)
Équilibration par transport en phase vapeur (VTE)