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des thèses françaises
Catherine Deville Cavellin
IdRefMots clés
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Couches minces
Barrière de diffusion
Dépôt de couche mince
Ta
TaNx
Pulvérisation cathodique magnétron
Pulvérisation réactive
RF-IPVD
HIPIMS (HPPMS)
Pulvérisation cathodique
Épitaxie par faisceaux moléculaires
Supraconducteurs
Corrosion
SiC
Transition active/passive
Fluent
Oxydation
Trés hautes températures
Cinétique hétérogène
Matériaux -- Effets des hautes températures