Caroline Soyer
Mots clés
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Microtechniques
Couches minces
Titanozirconate de plomb
Micro-Transducteurs
Polymères conducteurs électroniques
Micro-Fabrication
Conducteurs organiques
Transducteurs
Pérovskite
Electrode
Substrat
Silicium
Pulvérisation cathodique
Diélectrique
Piézoélectrique
Ferroélectrique
Oxyde
Couches minces ferroélectriques
Gravure sèche
Films minces