Raluca Tiron
Mots clés
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Microélectronique
Lithographie
Autoassemblage
Copolymères séquencés
Film mince
Couches minces
Polymères
Auto-Assemblage
Nanostructuration
Masques (électronique)
Copolymères à blocs
Nanostructures
Nanoparticules
Origami d'ADN
Auto-assemblage
Diméticone
Homopolymères
Gravure anisotrope par plasma cryogénique
Couche de passivation
Structuration sub-micrométrique