Guy Hollinger
IdRefMots clés
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Épitaxie
Épitaxie par faisceaux moléculaires
Spectroscopie de photoélectrons
Silicium
Microscopie électronique en transmission
Semiconducteurs
Silicium -- Substrats
Traitements de surface
MOS complémentaires
Oxydes
Circuit intégré Complementary Metal Oxide SemiConductor - CMOS
Transistor MOSFET - Composant à effet de champ à grille isolée
Dielectric high K
Equivalent Oxide Thickness - EOT
Epitaxie par jet moléculaire - MBE
Diffraction RHEED - Reflection high-Energy Electron diffraction
Microscopie à Force Atomique
Réflectivite des rayons X - XRR
Oxygène atomique
Oxyde de Hafnium - HfO2