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des thèses françaises
Pascal Etienne
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Matériaux hybrides
Sol-gel, Procédé
Microfluidique
Photolithographie
Procédé sol-gel
Sol-gel
Photonique
Microstructuration de surface
Couche ultraporeuse pixélisé
Couches minces
Nanoindentation
Optique intégrée
Surfaces (technologie)
Sondes locales/Contribution à la fabrication de sondes pour le champ proche optique en technologie sol-gel
Fabrication microélectronique (RIE-DRIE-PECVD)
Microscopie en champ proche
Sondes électroniques
Optique en champ proche
Microélectronique
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma