Michel Pons
IdRefMots clés
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EN
Carbure de silicium
Dépôt chimique en phase vapeur
Épitaxie
Silicium -- Substrats
Nitrure d'aluminium
CVD
Modélisation
Croissance cristalline
Sciences appliquees
Silicium
Haute température
Oxydation
SiC
Couches minces
Modélisation multiphysique
Effets photoelectriques
Modules photovoltaïques
Faible concentration
Silicium amorphe
Silicium polycristalin