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des thèses françaises
Pascal Tristant
IdRefMots clés
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Couches minces
Pulvérisation cathodique
Nanoparticules
Dépôt en phase vapeur
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Alumine
Matériaux piézoélectriques
Silice
Résonance plasmonique de surface
Micro-ondes
Plan d'expérience
Matériaux céramiques
Nitrure d'aluminium
Photocatalyse
Oxynitrures de silicium
Pulvérisation cathodique réactive RF
RGPP
GLAD
Propriétés stucturales
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