Jean-Paul Booth
IdRefMots clés
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Gravure plasma
Fluorescence induite par laser
Plasmas (gaz ionisés)
Diagnostic plasma
Gravure par plasma
Décharge inductive basse pression
Radicaux neutres
Plasmas fluorocarbonés
Transition E-H
Thermo-diffusion
Température des neutres
Hydrocarbures fluorés
Anions
Physique
Physique des gaz, des plasmas et des decharges electriques
Domaines classiques de la physique (y compris les applications)
Caracteristique electrique
Caracteristique optique
Plasma couple inductivement
Interaction plasma paroi