Le moteur de recherche
des thèses françaises
Bernard Despax
IdRefMots clés
FR
Décharges électriques dans les gaz
Pecvd
Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeur
Nitrure de silicium
Modèles mathématiques
Projection au plasma
Décharges luminescentes
Technique des plasmas
Sondes électroniques
Nanocristaux de silicium
Silicium -- Couches minces
MOS (électronique)
Propriétés électriques
Silicium
Spectroscopie d'émission
Oxyde de silicium
Dépôt plasma
Sub-oxyde
Caractérisation de surface