Thierry Belmonte
Mots clés
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Pression atmosphérique
Plasmas (gaz ionisés)
Couches minces
Plasmas microondes
Plasma
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Silice
Plasmas froids
Films minces
Modélisation
Décharges électriques
Nanoparticules
Post-décharge
Micro-ondes
Traitements de surface
Spectroscopie
Pecvd
Hexamethyldisiloxane
Nitruration
PECVD