François Tardif
Mots clés
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EN
Adsorption
Semiconducteurs
Composés organiques
Désorption
Semi-conducteurs
Wafer
Ptr-ms
Tube à écoulement
Impuretés interstitielles
Salles blanches
Contamination
Plaquettes à gravure en semiconducteurs
Silicium -- Substrats
Nettoyage
Microélectronique
Analyse en trace des éléments
Contamination à la surface
Total reflection X-ray fluorescence
Rayonnement de synchrotron
Optique de rayons X