Bertrand Vilquin
Mots clés
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Couches minces
Ferroélectricité
Systèmes microélectromécaniques
Matériaux piézoélectriques
Oxyde de hafnium
Oxydes fonctionnels
MOS complémentaires
Épitaxie
Dépôt par laser pulsé
Electronique
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