Bertrand Vilquin
Mots clés
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Couches minces
Ferroélectricité
Systèmes microélectromécaniques
Matériaux piézoélectriques
Oxydes fonctionnels
MOS complémentaires
Electronique
Silicium
PZT
Pulvérisation cathodique magnétron
Sol-gel
Couches minces ferroélectriques
Pulvérisation cathodique
Mems
Oxyde de hafnium
Spectroscopie infrarouge
Épitaxie par faisceaux moléculaires
Oxydes
Hétéroépitaxie
FeRAM