Hugues Murray
IdRefMots clés
FR
Microélectronique
Dépôt chimique en phase vapeur
Silicium
Fiabilité
Défauts électriques -- Localisation
Microscopie confocale
Lasers dans l'industrie des semiconducteurs
Analyse thermique
Transfert de chaleur
Fourier, Analyse de
Silicium -- Couches minces
Semiconducteurs dopés
Silicium cristallisé
Silicium -- Substrats
Relaxation des contraintes
Résistances électriques
Condensateurs électriques
Ferroélectricité
Couches minces
Pulvérisation cathodique