Rémi Dussart
Mots clés
FR |
EN
Gravure par plasma
Plasma
Gravure
Plasmas (gaz ionisés)
Silicium
Microélectronique
Gravure plasma
Décharges électriques dans les gaz
Silicium -- Couches minces
Cryotechnique
Plasma à pression atmosphérique
Plasmas microondes
Nitrure de gallium
GaN
Caractérisation
Semiconducteurs
Titane
Transistors en couches minces
Micro-décharges
Polymères