Jean-Claude Dupuy
IdRefMots clés
FR
Microélectronique
Silicium
Spectrométrie de masse des ions secondaires
Spectroscopie -- Déconvolution
Électrodiffusion
Titane
Rétrodiffusion
Recuit thermique rapide
Couches minces
Bore
Cartes à mémoire
MOS complémentaires
Circuits intégrés
Diélectriques
Nitruration
Alliages
Cuivre -- Alliages
Rugosité
Érosion
Spectrométrie de masse d'ions secondaires