Le moteur de recherche
des thèses françaises
Lionel Buchaillot
IdRefMots clés
FR |
EN
Systèmes microélectromécaniques
MEMS
Microtechniques
Silicium cristallisé
Microfluidique
Résonateurs électriques
Microscopie à force atomique
Capteurs (technologie)
Silicium
Microactionneurs
Piézoélectricité
Fiabilité
Alliages à mémoire de forme
Couches minces
Hydrogène
Résonateurs
Nanosystèmes électromécaniques
Propriétés mécaniques
Mems
Accéléromètre