Marie-France Beaufort
IdRefMots clés
FR |
EN
Ions -- Implantation
Microscopie électronique en transmission
Hélium
Met
Bulles
Carbure de silicium
Implantation ionique
Silicium
Déformation élastique
Nanostructures
Science des matériaux
Irradiation
Films minces
Rayons X -- Diffraction
Dislocations
Microstructure
Tungstène
Irradiation/implantation
Défauts lacunaires
Spectroscopie d’annihilation de positons (PAS)