Christophe Cardinaud
Mots clés
FR |
EN
Gravure par plasma
Plasma
Gravure
Gravure plasma
Microélectronique
Diélectriques
Polymères
Transistors en couches minces
Titane
Dispositifs médicaux implantables
Microtechniques
Plasmas froids
Silicium
Polymère
Silicium -- Couches minces
Nitrure de gallium
Copolymères à blocs
Copolymères séquencés
Transistors MOSFET
Plasmas (gaz ionisés)