Didier Théron
IdRefMots clés
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Nitrure de gallium
Systèmes microélectromécaniques
Transistors à effet de champ
Mems
MEMS
Microscopie à force atomique
Gravure par plasma
Semiconducteurs à large bande interdite
Semiconducteurs à l'arséniure de gallium
Microcapteurs
Oscillateurs
Resonateurs capacitifs
Excitation électrostatique
Ondes élastiques de volume
Mode d'extension compréssion
Energie piégée
Structure mesa / mesa -inversée
Microfabrication salle blanche
Ondes élastiques
Micro-ondes