Elie Lefeuvre
Mots clés
FR |
EN
Piézoélectricité
Systèmes microélectromécaniques
Récupération d'énergie
Micro-fabrication
MEMS
Récupération d’énergie
Capteurs (technologie)
Vibrations
Nanofils
Mems
Capteurs de pression
Électrostatique
Récupération d'énergie vibratoire
Dispositifs piézoélectriques
Matériaux piézoélectriques
Microfabrication
Capteurs
Silicium
Énergie -- Conversion directe
Méthode des éléments finis