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Michel Sarret

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Dépôt chimique en phase vapeur
Silicium cristallisé
Silicium -- Couches minces
Semiconducteurs dopés
Silicium -- Substrats
Relaxation des contraintes
Résistances électriques
Condensateurs électriques
Semiconducteurs amorphes
Semiconducteurs -- Dopage
Phosphine
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L. P. C. V. D.
Thèses
Cristallisation en phase solide (S. P. C. )
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