Yves Pauleau
Mots clés
FR
Etude experimentale
Physique
Couche mince
Experimental study
Sciences appliquees
Nc
Pac
Compose binaire
Electronique
Sciences des materiaux, rheologie
Thin films
Rayonnement uv
Propriete mecanique
Contrainte residuelle
Compose mineral
Circuit integre
Depot metal
Depot chimique phase vapeur
Integrated circuit
Metal deposition