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des thèses françaises
Patrick Alnot
IdRefMots clés
FR
Dispositifs à ondes acoustiques de surface
Nitrure d'aluminium
Couches minces
Diamant
Matériaux piézoélectriques
Diamant -- Couches minces
Canal microuidique
Ondes acoustiques de surface
Lithographie par faisceau d'électrons
Ondes métriques
Traitement du signal
Dispositifs piézoélectriques
Cavités résonnantes (acoustique)
Ondes de cisaillement
Oxyde de zinc
Microcapteurs
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Microfluidique
Projection au plasma
Physique des gaz, des plasmas et des décharges électriques