François Rieutord
Mots clés
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Collage direct
Collage (matériaux)
Silicium
Ions -- Implantation
Implantation ionique
Rupture, Mécanique de la
Technologie silicium sur isolant
Silicium -- Substrats
Silice
Surface
Confinement
Silicium -- Couches minces
Smart Cut
Rayons X -- Diffraction
Collage de silicium
Collage d'oxydes
Préparation de surfaces
Surface hydrophobe
Surface hydrophile
Systèmes microélectromécaniques