Guillaume Ravel
Mots clés
FR
Sciences appliquees
Electronique
Fabrication microelectronique
Gravure
Gravure ionique reactive
Gravure plasma
Condition operatoire
Uniformite
Analyse fonctionnement
Caracteristique fonctionnement
Appareillage
Decharge electrique
Haute frequence
Champ magnetique
Optimisation
Silicium
Polycristal
Monocristal
Silicium oxyde
Gravure selective