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des thèses françaises
Annie Guedj
IdRefMots clés
FR
Electronique
Fabrication microelectronique
Oxydation
Silicium
Couche mince
Silice
Thermochimie
Faisceau laser
Mesure temperature
Etat surface
Pyrometrie
Prechauffage
Controle fabrication
Propriete electrique
Caracteristique capacite tension
Epaisseur
Controle automatique
Caracteristique courant tension
Absorption ir
Mode vibration