Le moteur de recherche
des thèses françaises
Patrick Choquet
IdRefMots clés
FR |
EN
Pulvérisation cathodique
Couches minces métalliques
Pression atmosphérique
Couches minces
Oxyde de titane
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Dioxyde de titane
PECVD
Hipims
Contrainte résiduelle
Cuivre
Nitrure de titane
Science des matériaux
Couches minces semiconductrices
Plasmas (gaz ionisés)
Substrats structurés
AZO
ZnO
Cu₂O
Cellule solaire