Agnès Granier
Mots clés
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Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Couches minces
Oxyde de titane
Plasma
Cuivre
Nanocomposites
Pulvérisation cathodique
Couches diélectriques
Nanoparticules
Nickel
PECVD
Dépôt chimique en phase vapeur
Gravure par plasma
XPS
Spectroscopie de photoélectrons
Silice
Spectroscopie d'émission optique à source plasma
Photocatalyse
Couches minces métalliques
Titane