Agnès Granier
Mots clés
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Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Couches minces
Oxyde de titane
Cuivre
Plasma
Pulvérisation cathodique
Couches diélectriques
Nanocomposites
Nanoparticules
Nickel
Gravure par plasma
XPS
Spectroscopie de photoélectrons
Silice
Photocatalyse
Couches minces métalliques
Titane
Plasmas microondes
Surfaces (technologie) -- Analyse
Dépôt chimique en phase vapeur