Physical and electrical characterization of CVD graphene devices: towards large scale and flexible graphene electronics

par Joanna Njeim

Thèse de doctorat en Sciences de l'ingénierie

Sous la direction de Zhuoxiang Ren.

  • Titre traduit

    Caractérisation physique et électrique de dispositifs à base de graphène CVD : vers l'électronique flexible à base de graphène à grande échelle


  • Résumé

    Depuis une dizaine d'années, le graphène s'est rapidement révélé être un matériau très prometteur dans le domaine de l'électronique flexible et communicante. Dans cette optique, la technique de dépôt chimique en phase vapeur a permis la synthèse de graphène sur de grandes surfaces, rendant ainsi possible la commercialisation de dispositifs à base de graphène. Cependant, les procédés de fabrication ne sont pas tous clairement acquis à chaque étape afin de relever les défis les plus fondamentaux dans ce domaine. Dans ce travail de thèse, une caractérisation chimique et structurelle a été réalisée étape par étape afin d'étudier les propriétés du graphène CVD, et les étapes les plus importantes ont été abordées afin d'ouvrir la voie à des dispositifs RF flexibles à base de graphène sur du parylène. Nous avons constaté que les techniques classiques permettant l'obtention de grandes surfaces doivent encore fournir des propriétés d'homogénéité sur le même feuillet. Cela met en évidence la nécessité d'encapsuler le graphène. Le parylène C a été étudié comme substrat potentiel pour les dispositifs à base de graphène et des dispositifs RF a des longueurs de grille inférieures à 60 nm ont été fabriquées, ce qui montre que la combinaison parylène/graphène pourrait constituer une solution très propice à l'obtention de dispositifs avec des performances reproductibles.


  • Résumé

    Abcd